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无掩模紫外激光直写系统可用于微纳结构的高精度图形加工,实现亚微米级分辨率与高精度定位能力。兼具大面积图形加工能力与亚微米级精度保证。应用于微型显示芯片等光电器件的研发,以及钙钛矿等氛围敏感材料的测试场景,其超紧凑体积可实现手套箱恒定氛围内使用。
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